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化學性能非常穩定,耐強酸,包括極強的路易氏酸,耐強堿、高壓、高溫。
與接觸的任何特種氣體如氟氣,強腐蝕性物質,強氧化劑,還原劑均不發生反應
應用:
1.用于半導體工業真空泵油,得到世界著名真空泵制造商,如萊寶Leybold、愛德華Edwards、荏原Ebara等的認可。
尤其半導體芯片加工過程中的蝕刻和沉淀過程特種氣體處理。